1. 操作前的准备
- 确认清洗物体的材质和清洗要求，选择合适的清洗参数和气体。
- 检查清洗机的各项元件是否正常，如等离子源、气源系统、真空系统等。
- 将清洗物体放置在清洗室内，并根据需要将其固定在支撑结构上。
- 打开气源系统，将气体引入等离子源中，并调整气体流量和压力，以达到合适的等离子体产生条件。
- 打开真空泵，将清洗室内部的气体抽出，直到达到设定的真空度。
- 启动等离子源，产生等离子体，开始清洗。在清洗过程中，可以根据需要调整清洗参数，如等离子体功率、清洗时间等。
- 清洗完成后，关闭等离子源、气源系统和真空泵，等待清洗室内部压力恢复正常。
3. 操作注意事项
- 清洗过程中应注意安全，避免接触等离子体和高压电源。
- 清洗物体的表面应保持干燥和清洁，避免水分和油污等杂质的影响。
- 清洗后应及时检查清洗效果，如有需要可以进行再次清洗。
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