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1019-07
晶圆清洗应该使用什么样的等离子清洗机? 等离子清洗机 对晶圆清洗的流程就是先将晶圆放入等离子清洗机的真空反应腔体内,然后抽取真空,达到一定真空度后通入反应气体,这些反应气体被电离形成等离子体与晶片表面发生化学和物理反应,生成可挥发性物质被抽走,清洁晶圆表面并使之具有亲水性。那么 晶圆清洗 所用的等离子清洗机在选择时有哪些该注意的地方呢? 一、腔体和托架要求 等离子清洗晶圆是在千级...
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0919-07
交流接触器在真空等离子清洗机上起到什么作用呢? 真空等离子清洗机 常用的交流接触器,根据线圈电压可分为:直流24V,交流220V,交流380V。实验型真空等离子设备与常规型真空等离子设备上的交流接触器在位置与操作方式上有所不同,普乐斯在本文中将为大家介绍一下两种真空等离子清洗机上的交流接触器的工作方式及交流接触器所起到的作用。对 真空等离子清洗机的交流接触器的组成和选择 有疑问的小伙伴也可以回顾一下。...
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0919-07
真空等离子清洗机的交流接触器由哪些组成?如何选择? 真空等离子清洗机 中的交流接触器是什么样的呢?留心的朋友可能观察过,但相信大家对交流接触器的其他方面还是知之甚少的。其实,交流接触器是一种广泛应用在自动化控制电路中的电器元件,它的工作原理是通过小电流来控制大电流,因此使用起来更加安全可靠。接下来,普乐斯为大家介绍一下真空等离子清洗机上的交流接触器的组成和选择的方法,希望对大家有所帮助...
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0919-07
立昂微成功拉制12英寸硅单晶棒 业内人士都知道,硅单晶棒是生产硅片的关键性步骤,拉晶过程是硅片制造的重中之重,核心技术中的核心,对工艺、材料和设备的要求极高,之后再经切割、研磨、清洗、抛光以及外延等数十道工序制备成硅抛光片 或硅外延片,然后成为芯片的地基。 硅片直径越大对材料和技术的要求越高,制造难度也越大。 国内市场上12英寸半导体硅片几乎全部是进口,究其原因是国内掌握...
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0919-07
真空等离子清洗机的油泵应该怎样拆解和组装? 真空等离子清洗机 的真空泵,如果没有特殊要求,大多可选配旋片式油泵。旋片式油泵的工作原理是利用机械方法对真空反应腔体进行抽气,当抽到能满足等离子放电的真空度时,维持工艺气体的进入和等离子反应副产物的去除,以保证等离子放电的稳定性。掌握正确方法后,真空等离子清洗机的油式真空泵的维护保养其实很简单。普乐斯为大家整理了真空等离子清洗机油泵的...
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0819-07
大气射流旋转型等离子清洗机的轴承应该如何选择? 大气射流型等离子清洗机分为大气射流直喷式等离子清洗机和 大气射流旋转型等离子清洗机 。轴承在等离子清洗机设备上,主要是运用在大气射流旋转式等离子清洗机上。 每一台大气射流旋转型等离子清洗机都离不开轴承,那么,轴承有何特点?又该如何选择呢?接下来让我们一起来学习。 大气射流旋转型等离子清洗机的轴承安装在轴套与轴心之间,位于外壳的尾部位置,具...
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0819-07
等离子清洗机在晶圆表面处理中的应用 在整个半导体产业链中,中国投入最多资金的就属晶圆代工部份。具体来说,晶圆代工就是在硅晶圆上制作电路与电子元件,这个步骤为整个半导体产业链中技术最复杂,且资金投入最多的领域...
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0819-07
你知道这三种真空等离子清洗机的电极结构吗? 真空等离子清洗机电极结构 在设计的时候,需要充分考虑各方面因素,如处理材料的形状大小、产品特性、放置形式、产能及处理目的等。普乐斯之前向大家介绍了 真空等离子清洗机的三种平板式电极结构 ,接下来向大家介绍另外三种真空等离子的电极结构,希望对大家有所帮助。 一、车载托架式真空等离子清洗机电极结构 所谓车载托架,实际上就是把金属小车直接当电极,...
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0719-07
真空等离子清洗机的三种平板式电极结构 当设计 真空等离子清洗机电极结构 的时候,我们往往需要充分考虑处理对象的形状大小;放置方式和产能需求;产品和材料特性;以及不同处理目的等因素,让电极结构设计更加合理,平板式电极结构是较为常见的,普乐斯为大家详细介绍一下平板水平电极式、平板垂直电极式、平板组合电极式三种平板式的电极结构。 一、平板水平电极式真空等离子清洗机电极结构 这是最常...
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0619-07
中兴徐子阳透露已量产7nm芯片 近日,中兴通讯执行董事、总裁徐子阳接受了央视《对话》栏目的采访,徐子阳在采访中透露,在关键芯片方面,中兴通讯已经能够设计7纳米的芯片,并且量产,同时5纳米的工艺也在紧张的准...
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