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半导体行业动态,中微拟定投资上海睿励

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2019-08-22 14:01【
文章导读:8月21日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微半导体”)发布公告称,拟对睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“上海睿励”)进行投资,金额为1375万元,投资完成后中微半导体持股上海睿励股权比例约为10.41%。
资料显示,上海睿励是国内集成电路工艺检测设备供应商,目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。其自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品,已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证,在3D存储芯片上达到64层的检测能力。

中微半导体拟定投资上海睿励-普乐斯等离子清洗机

目前,上海睿励的产品已成功进入世界领xian芯片客户3D闪存芯片生产线,并取得7台次重复订单,是目前进入该国ji领xian芯片生产企业唯yi的国产集成电路设备产品。

中微半导体拟定投资上海睿励-普乐斯等离子清洗机

此前,通过投资国内薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司,中微半导体在集成电路薄膜设备领域进行了布局,中微半导体指出,此次投资上海睿励,是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤,将进一步形成产业链协同效应。

本文来源:全球半导体观察
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普乐斯从2011年开始涉足半导体行业至今已有8年,在光刻胶去除、打线即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工艺方面积累了较为丰富的等离子表面处理经验,合作客户接近20家,我们正努力成为半导体封装领域的离子表面处理工艺解决方案服务商。等离子表面处理过的样品包括:硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架等。

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