您好,欢迎访问昆山普乐斯电子科技有限公司官方网站! 收藏普乐斯|在线留言|HTML地图|XML地图|English

普乐斯电子

普乐斯15年专注等离子清洗机研制低温等离子表面处理系统方案解决商

业务咨询热线:400-816-9009免费等离子清洗机处理样品

热门关键字:应用方案 大气等离子清洗机 真空等离子清洗机 等离子清洗机厂家

当前位置普乐斯首页 > 普乐斯资讯 > 行业资讯 >

晶圆清洗应该使用什么样的等离子清洗机?

返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2019-07-10 08:41【
文章导读:晶圆(Wafer)清洗分为湿法清洗和干法清洗两种方式,等离子清洗属于后者,主要是去除晶圆表面肉眼看不到的表面污染物。晶圆的干式清洗应该使用什么样的等离子清洗机呢?
等离子清洗机对晶圆清洗的流程就是先将晶圆放入等离子清洗机的真空反应腔体内,然后抽取真空,达到一定真空度后通入反应气体,这些反应气体被电离形成等离子体与晶片表面发生化学和物理反应,生成可挥发性物质被抽走,清洁晶圆表面并使之具有亲水性。那么晶圆清洗所用的等离子清洗机在选择时有哪些该注意的地方呢?
晶圆表面-普乐斯等离子清洗机
一、腔体和托架要求
等离子清洗晶圆是在千级以上的无尘室中进行的,对particle的要求极高,任何超标的particle存在,都会造成晶圆不可挽回的缺陷。所以设计等离子清洗机的腔体首先一定要是铝质,而不是不锈钢材质;摆放晶圆的托架滑动部分,要尽量采用不容易产生粉尘和被等离子腐蚀的材料;电极和托架方便拆卸,便于日常维护。

二、电极间距和层数,以及气路分布要求
等离子清洗机反应腔体内的电极间距和层数,以及气路分布,对于晶圆处理的均匀性都重大的影响,这些指标都需要不断试验来优化。

三、电极板温度要求
等离子清洗晶圆的过程中,会产生一定的热量累积,处于工艺的需要,维持电极板的温度在一定范围是必要的,所以通常会给等离子清洗机的电极加上水冷。
用于12寸晶圆清洗的等离子清洗机腔体结构-普乐斯等离子清洗机
四、摆放小技巧
多层电极的等离子清洗机产能比较高,可以根据需要每一层托架上摆放多片晶圆,比较适合于半导体分立器件、电力电子元器件专用4寸及6寸晶圆的光刻底膜去除等。

亲,如果您对等离子清洗机感兴趣或者想了解更多详细信息,欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,普乐斯恭候您的来电! 
公司英文网站:www.plasmapls.com

普乐斯推荐

  • 工业等离子清洗机 真空等离子清洗机 PLS-200L

    产品名称:工业等离子清洗机 真空等离子清洗机 PLS-200L

  • USC干式超声波除尘设备 高压旋风除尘PLS-X系列介绍

    产品名称:USC干式超声波除尘设备 高压旋风除尘PLS-X系列介绍
    1)能有效去除大于3μm的颗粒
    2)不需要高纯水和化学药剂等,同时不需要后续烘干工艺
    3)设备维护简单,只需进行简单的清洗和更换
    4)沿喷嘴线性均衡的超声波使得工件横向清洗性能保持一致
    5)非接触式的清洗方式避免损坏工
    6)闭环系统不会破坏生产车间(洁净室)的气流平衡

  • 小型等离子清洗机 实验型等离子清洗机 半导体活化刻蚀 pr5L

    产品名称:小型等离子清洗机 实验型等离子清洗机 半导体活化刻蚀 pr5L
    ‌实验室等离子清洗机‌是一种利用等离子体技术进行表面处理的设备,广泛应用于科研和工业制造领域。

  • 真空等离子清洗机 等离子表面处理机 表面处理改性PM-20LN

    产品名称:真空等离子清洗机 等离子表面处理机 表面处理改性PM-20LN
    真空等离子清洗机作为一种高效、无介质的表面处理设备,具有广泛的应用前景。其工作原理基于等离子体在真空环境中产生的化学反应和物理效应,具有高效清洗、无介质清洗、可选择性清洗、表面改性和自动化操作等优势。

  • 实验型等离子清洗机 小型真空等离子处理设备PLAUX-PR-10L

    产品名称:实验型等离子清洗机 小型真空等离子处理设备PLAUX-PR-10L

    ‌高效彻底‌:能够深入微纳米级孔隙中,彻底清除难以触及的污染物。

    ‌环保节能‌:无需使用化学溶剂,减少废水废气排放,符合绿色生产要求,且能耗低。

    ‌广泛适用‌:适用于多种材料表面,包括金属、陶瓷、玻璃、塑料等,不会对材料性能产生负面影响。

    ‌工艺可控‌:通过调整工作气体种类、压力、功率等参数,可精确控制清洗过程‌。


行业资讯

最新资讯文章