低压等离子表面处理机气路控制由哪些组成？

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2019-07-26 10:08【大中小】

文章导读：低压等离子表面处理机对各功能气路的控制及工艺气体稳定是有要求的，那么低压等离子表面处理机的气路控制由哪些部件组成的呢？

低压等离子表面处理机，又称真空等离子表面处理设备，气路控制的工艺气体的流量大小和精准度对等离子表面处理效果的影响可不小，那么低压等离子表面处理机的气路控制是由气体调压及处理组件、带报警输出的减压表、真空电磁阀、流量计组件组成的。接下来普乐斯就为大家详细介绍一下，帮助大家增加了解。

一、气体调压及处理组件

低压等离子表面处理机通入的气体通常都是洁净度相对较高的工艺气体，所以气体调压及处理组件根本结构多为调压阀和过滤器组成。其主要作用是将气压控制在所需压力范围内及过滤气体中可能含有的杂质，以确保后端流量计等组件的运转稳定性和气体洁净度。目前低压等离子表面处理机的常用的气体调压及处理组件按结构特色分为组合式和一体式两种，下图所示为组合式。

二、带报警输出的减压表
为实时监控等离子处理机的气体压力是否契合工作要求，在气体调压阀上都会装置带报警输出功用的压力表，在压力过低时输出报警信号，以保证设备和正常运行及工艺气体的安稳。带报警输出的减压表分为指针式和数显式两种，如下图所示为指针式。

三、真空电磁阀
低压等离子表面处理机在工作时需保持工艺要求的真空度及真空腔体的密封，因而其衔接腔体的各气路阀门有必要满意真空密封要求，咱们应该挑选相匹配的带气路控制的真空电磁阀。低压等离子表面处理机为确保运转稳定性，都是一个真空电磁阀控制一路气体，所选用的真空电磁阀都是两位两通式，如下图所示。

四、流量计
低压等离子表面处理机的进气量是由流量计所操控的，其原理是经过调理通入气体阀门的大小来实现通流量的操控，等离子处理机运用的流量计分为气体浮子流量计和质量流量操控器两种。
以上就是低压等离子表面处理机的气路控制组成部件的介绍，如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

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