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用于半导体封装的等离子清洗设备主要由哪些部分组成？

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2018-10-29 16:44【大中小】

文章导读：等离子清洗设备有多种叫法，例如等离子清洗机、等离子表面处理设备、低温等离子处理设备、等离子表面处理系统、电浆机、Plasma cleaner等，半导体封装用到的等离子清洗设备是什么样的呢？

按照等离子体产生的机制业界一般分为常压（大气）等离子清洗设备和低压（真空）等离子清洗设备，半导体封装行业用到的等离子清洗设备属于后者。等离子清洗设备主要由以下几部分组成：

1、真空腔体：带有各种结构的放电电极，使得反应气体激发生成等离子体，形成不同状态、不同特性和密度的等离子体

2、等离子发生器：含电源和匹配器，提供反应气体放电能量来源，维持等离子体放电状态；有不同的频率区分。

3、真空泵：抽取真空，保持真空度，抽走未电离的工艺气体和反应副产物；包括单级泵和泵组。

4、真空计：监测真空腔体的真空度。

5、流量计：测量反应气体的流量。

6、反应气体：各种工艺气体，如Ar、H₂、N₂、O₂、CF₄等，根据需要使用单一气体或者两种以上的混合气体。

等离子清洗机反应的气体

7、电气控制：含软件，保证设备运行、监测、数据采集和工艺参数设定等。

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