为什么半导体行业的等离子清洗机大多用铝质腔体？
文章导读：真空等离子清洗机的反应腔室常见的材质包括石英玻璃、不锈钢和铝合金等，不同行业和应用领域的选择会有所区别。用于半导体行业的等离子清洗机大多采用铝合金，这是为什么呢？
半导体行业用于清洗、刻蚀的等离子清洗机对真空反应腔室的材质选择比较讲究，毕竟处理晶圆、支架等产品对工艺环境的要求很高。普乐斯等离子清洗机选择铝质腔体大致有以下一些原因：
1、铝合金密度低，强度高，超过优质钢，机械加工性能比较好。
2、铝具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。
3、材料对化学反应的兼容性比较好，不易产生金属污染、particle等。
4、表面处理方面铝合金较为丰富，包括电泳、喷涂、阳极氧化等。
5、趋肤深度铝是不锈钢的10倍以上，使得电流分布更均匀，腔体不容易发热。
1、铝合金密度低，强度高，超过优质钢，机械加工性能比较好。
2、铝具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。
3、材料对化学反应的兼容性比较好，不易产生金属污染、particle等。
4、表面处理方面铝合金较为丰富，包括电泳、喷涂、阳极氧化等。
5、趋肤深度铝是不锈钢的10倍以上，使得电流分布更均匀，腔体不容易发热。
以上关于半导体行业普乐斯等离子清洗机选用铝质腔体的原因描述清楚了吗？您有什么异议或更好的补充呢？欢迎大家留言与我们交流和分享。
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