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1219-06
等离子清洗机是如何对高分子材料表面进行改性的?(上) 真空(低压)等离子清洗机 和 大气(常压)等离子清洗机 ,因其不同机制和条件下产生的等离子体,其能量密度、气体温度、粒子组成、电离度等性质的差异,对高分子材料表面作用的机理和...
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1119-06
常压DBD等离子清洗机中的等离子体有哪些特点?(下) 等离子清洗机 在等离子体发射电磁波的过程会产生辐射 。 通常由气体放电产生的等离子体都伴随着发光现象,其颜色与反应气体种类有关。除了发射可见光外,还会产生紫外线和X射线等,实质上都是电磁波。 等离子体辐射的主要来源是等离子体中粒子运动状态的变化;尤其是电子,其运动状态更加多种多样。除束缚电子,还存在动能可以连续变化的自由电子。当它同别的粒子...
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1019-06
常压DBD等离子清洗机中的等离子体有哪些特点?(上) 一、 常压DBD等离子清洗机 的准辉光等离子体 等离子清洗机 在常压状态下形成准辉光放电,必须要达到某一最小的初始电子密度,当将要电离的电子密度足够大时就可以生成大面积的准辉光,...
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0619-06
介质阻挡等离子清洗机放电的原理是什么? 一.DBD 等离子清洗机 等离子体的放电原理 当介质阻挡放电(DBD) 等离子清洗机 电极的两端施加高压,阴极附近的气体会在电场作用下电离并产生电子。在气体被完全击穿之前,这些电子在电场...
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0519-06
介质阻挡放电等离子清洗机的基本结构有哪些? 我们真正对大气压放电进行系统的研究还是近几十年,这是因为大气压等离子体在工业中具有无与伦比的现实及潜在的应用价值,直接刺激了各国科学家的研究热忱,使大气压等离子体技术和理论得到了迅猛发展。考虑到大气压等离子体的放电过程有其独特性,相对于真空环境下产生的等离子体其应用也有不同之处,所以今天开始单独讨论大气压等离子体。 一、介质阻挡放电的...
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0419-06
等离子清洗机有电子回旋共振和螺旋波等离子体吗? 1.电子回旋共振(ECR)等离子体 通过 等离子清洗机 实验我们了解到,在0.1T量级的磁场中以1kW左右的微波(通常采用频率为2.45 GHz)从真空窗入射,即使在很低的压强(0.05 Pa~0.5Pa)条件下也可以生成高密度(10 17 m - 3 )的等离子体。能够这样高效的生成等离子体的原因正是等离子体共振现象。利用磁场中电子回旋共振(Electron cyclotron resonance,ECR)的等离子体发生装置模型如图1所...
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0319-06
感应耦合等离子清洗机的放电原理及特点是什么? 等离子清洗机 的螺旋线圈通入高频电流时,在它的空间会同时存在两种电场。第一种是由线圈两端的高频电位差建立的轴向电场E 1 ,这是E型放电的电场;第二种是由放电空间变化磁场产生的涡...
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3119-05
射频溅射对等离子清洗机处理产品有影响吗? 1 射频溅射的基本知识 低压状态下射频自偏压在电极板周围产生自偏压鞘层,鞘层内的离子受自偏压的驱动会加速向极板运动,从而对极板材料产生溅射。设从外部入射到固体表面的粒子数为...
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3019-05
等离子清洗机的电极板面积不对称就可以做刻蚀? 等离子清洗机所产生的等离子体,不仅具有清除有机物和无机物的“清洁”特性,而且通过改变电极结构、电极面积或馈入方式,可以满足一定的等离子体刻蚀的要求,今天我们来探讨一下等离...
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2819-05
平行平板等离子清洗机的鞘层模型是什么样子? 等离子清洗机作为等离子体的反应器,尤其是真空(低压)等离子清洗机的等离子体鞘层的研究,一直以来都是重要而活跃方向,特别是可以结合计算机模拟手段的研究方法等离子体粒子模拟(Particle-in-cell computer modeling)对该理论的推进作用是比较显著,今天我们通过简化的图形初步来了解一下平行平板等离子清洗机的鞘层模型。...
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