真空等离子清洗设备（CCP式）电极馈入的方式有哪些？
文章导读：CCP 容性耦合等离子体 (capacitively coupled plasma)是目前国内常见的真空等离子清洗设备电极放电形式，有些爱学习的小伙伴想了解一下电极馈入方式，普乐斯的技术人员给大家简单介绍如下，仅供参考：
真空等离子清洗设备CCP容性耦合等离子体放电使用的电极馈入方式常见的有两类：
1、第1类是通过定制的铜棒+聚四氟乙烯绝缘件配合馈入到腔体内，在腔体内铜棒与连接排连接在一起。真空等离子清洗设备电极板上也安装相应的连接件。连接方式可以是插针公母头连接、铜片+弹片配合连接以及连接排与电极板通过铜带利用螺丝锁定连接。下图为常用的插针公母头连接的示意，其他连接只是在腔体内部有区别。
2、另外一类是在真空等离子清洗设备电极板上焊接连接棒，通过定制的绝缘套与焊接的连接棒配合，连接至腔体外；在腔体外再用导电排连接在一起，然后与等离子发生器的输出连接在一起。这一类主要是用于水冷电极结构连接，如是水冷电极结构那么焊接的连接棒为中空结构，这样就可以中通水、连接棒外接射频。具体结构需根客户要求而定。下图为连接示意（仅为示意图，实际结构会有所区别）。
以上关于真空等离子清洗设备电极馈入的方式清楚了吗？您还见过那些电极的馈入方式或者有好的想法，欢迎大家留言与我们交流和分享。
亲，如果您对等离子清洗机感兴趣或者想了解更多详细信息，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
1、第1类是通过定制的铜棒+聚四氟乙烯绝缘件配合馈入到腔体内，在腔体内铜棒与连接排连接在一起。真空等离子清洗设备电极板上也安装相应的连接件。连接方式可以是插针公母头连接、铜片+弹片配合连接以及连接排与电极板通过铜带利用螺丝锁定连接。下图为常用的插针公母头连接的示意，其他连接只是在腔体内部有区别。
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| 真空等离子清洗设备电极设计图 | 真空等离子清洗设备电极实物图 |
2、另外一类是在真空等离子清洗设备电极板上焊接连接棒，通过定制的绝缘套与焊接的连接棒配合，连接至腔体外；在腔体外再用导电排连接在一起，然后与等离子发生器的输出连接在一起。这一类主要是用于水冷电极结构连接，如是水冷电极结构那么焊接的连接棒为中空结构，这样就可以中通水、连接棒外接射频。具体结构需根客户要求而定。下图为连接示意（仅为示意图，实际结构会有所区别）。
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| 真空等离子清洗设备电极设计图 | 真空等离子清洗设备电极实物图 |
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