普乐斯小型桌面式等离子清洗机整机详解
文章导读：小型实验型等离子清洗机（桌面真空等离子）是面向高校实验室、企业研发中心、新材料打样的紧凑型表面处理设备，主流容积 3L、5L、10L，采用 13.56MHz 射频激发，整机一体化集成，主打微量试样、多变量对照实验、新品工艺验证，是材料、微电子、生物、新能源实验室标准前处理设备。
小型实验型等离子清洗机（桌面真空等离子）是面向高校实验室、企业研发中心、新材料打样的紧凑型表面处理设备，主流容积 3L、5L、10L，采用 13.56MHz 射频激发，整机一体化集成，主打微量试样、多变量对照实验、新品工艺验证，是材料、微电子、生物、新能源实验室标准前处理设备。
一、整机核心结构组成
射频发生与匹配系统
自研 13.56MHz 固态射频电源，功率 0–200W 连续可调，搭载自动阻抗匹配模块，实时稳定放电，功率波动≤±0.3%，低功率档位适配 PI、二维材料、PDMS 等热敏样品，不会造成热灼伤。
真空处理腔体
分 316 不锈钢腔体、高透石英腔体两类；石英款可直观观察等离子起辉状态，方便学生实验教学；腔体带分层样品托盘，可同时放置硅片、薄膜、微小元器件，单次多组对照实验同步处理。
真空与气路单元
配套静音干式真空泵，快速建立低压环境；多路高精度质量流量计，精准控制氧气、氩气、氩氢混合气流量 10–50sccm，支持自由切换工艺气体，满足清洗、活化、弱刻蚀不同实验需求。
智能控制系统
触控 PLC 面板，手动 / 自动双模式，可存储 20 组以上实验配方，一键调取参数；具备门控安全保护，开盖自动断射频，实时监控真空度、功率、气体流量，实验数据可追溯复现。
二、基础核心参数（普乐斯 5L 标准机型）
整机尺寸 550×460×520mm，重量约 58kg，桌面直接摆放无需基建改造；腔体有效处理区域 130×245mm，适配 8 寸以内硅片、各类薄膜小样、微流控芯片、小型精密零件；整机额定功率 2.5KW，稳态处理温度控制在 45℃以内，全程干式无溶剂处理。
三、设备核心功能
纳米级超净清洗：去除样品表面脱模剂、光刻胶残胶、微量油污、碳颗粒，湿法药水无法清理的微孔、狭缝杂质均可剥离；
表面活化改性：在 PP、PTFE、PI、玻璃表面引入羟基、羧基极性基团，提升粘接、镀膜、细胞吸附能力；
微刻蚀粗化：氩等离子轻微刻蚀材料表层，调控表面粗糙度，用于复合材料界面性能研究；
低温还原除氧化：氩氢混合气温和去除金属焊盘、铜箔薄层氧化，不腐蚀超薄镀层。
四、主流应用场景
高校科研：微流控 PDMS 亲水改性、硅片干法去胶、石墨烯 / MXene 二维材料无损提纯、碳纤维界面改性、细胞培养皿预处理；
企业研发打样：FPC 小样除胶活化、锂电隔膜亲水实验、光学薄膜镀膜前验证、塑胶粘接印刷工艺调试、IGBT 小型样品封装预处理；
精密小零件：传感器、微型连接器、医用 PTFE 导管、微型光学镜片小批量试样处理。
五、设备独有优势
整机占地小、搬运便捷，单人即可移动；采购、运维成本远低于工业大型腔体设备，无高额耗材支出；工艺参数可精准微调，实验重复性高，研发调试完成后参数可直接平移至量产机型，避免研发与量产工艺脱节；操作门槛低，短期培训即可独立操作，适配实验室多人高频使用。
亲，如果您对等离子体表面处理机有需求或者想了解更多详细信息，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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