真空(低压)等离子体放电状态美图秀
文章导读:真空等离子体,又称低气压等离子体,是指在低气压(1.33Pa~1.33kPa)、低质量流量条件下,由低频(40KHz)、高频(13.56MHz)、微波(2.45GHz)等激发的辉光放电产生的。普乐斯整理了一些,仅供参考:
1、不同电极结构的放电
2、不同工艺气体的放电(水平电极、低频40KHz)
真空等离子体在低压环境下,激发频率、压力、气体、电极结构等不同,放电的颜色和状态都会有区别。您有什么异议或更好的图片吗?欢迎大家留言与我们交流和分享。
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2、不同工艺气体的放电(水平电极、低频40KHz)
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| 氮气N2 | 氢气H2 |
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| 四氟化碳CF4 | 氧气O2 |
真空等离子体在低压环境下,激发频率、压力、气体、电极结构等不同,放电的颜色和状态都会有区别。您有什么异议或更好的图片吗?欢迎大家留言与我们交流和分享。
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