当前位置：普乐斯首页 > 普乐斯资讯 > 等离子百科 >

等离子清洗机射频水平电极容性耦合放电形式是怎样的

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2020-09-03 09:46【大中小】

文章导读：等离子清洗机根据电源选取的不同，通常主要有中频和射频之分，而射频等离子清洗机因放电形式不同，也有射频容性耦合和感性耦合放电之分，在接下来的内容中，我们先来了解一下射频，以及水平电极的容性耦合放电形式和基础原理。

等离子清洗机根据电源选取的不同，通常主要有中频和射频之分，而射频等离子清洗机因放电形式不同，也有射频容性耦合和感性耦合放电之分，在接下来的内容中，我们先来了解一下射频，以及水平电极的容性耦合放电形式和基础原理。

一、什么是射频

等离子清洗机的射频或者说RF，是指工作频率在MHz量级，射频等离子清洗机的典型波段值为13.56MHz。在材料表面的等离子清洗应用中，电容耦合式的射频等离子清洗机适用范围较为广泛。

二、基本原理

等离子清洗机中低温等离子体的产生机制有多钟，包括但不局限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电，其中，电容耦合水平电极板射频放电又以处理面积大，在诸多研究和工业处理中应用广泛。下图为水平电极容性耦合射频等离子清洗机放电。

对于电容耦合高频等离子体源而言，保持在平行平板电极间的等离子体主要是通过高频电场加热。大部分的电容性耦合射频等离子体反应器都是非磁化的，工作频率在1~100MHz之间，要比电子响应电磁场的电子等离子体频率要低，即ω<ωpe。非磁化容性耦合射频放电模型如下图所示，由于使用的容性耦合射频放电能够产生较大面积的稳定等离子体，因而正如上述所说，电容性放电已经成为低气压放电材料处理中应用zui广泛的等离子体源。
普乐斯电子10年专注研制等离子清洗机，等离子体清洗机，等离子清洗设备，常压大气和低压真空型低温等离子表面处理机，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！

下一篇：提升PET无尘布吸水性的这个方法你知道吗？上一篇：等离子清洗设备辉光放电电位分布和光区分布有什么特征吗？

“推荐阅读”

普乐斯推荐

流水线式介质阻挡等离子体清洗机 PLAUX-AP-PM1000

产品名称：流水线式介质阻挡等离子体清洗机 PLAUX-AP-PM1000

流水线式等离子清洗机是专为工业生产线设计的连续化、自动化等离子表面处理设备，也常被称为在线式/通过式等离子清洗机，核心特点是能无缝嵌入产线的物料输送环节，实现工件 “进料 - 处理 - 出料” 的全自动化连续作业，无需人工中转，是汽车、电子、包装等规模化制造领域的主流选择。
连线式射流等离子体清洗机

产品名称：连线式射流等离子体清洗机
连线式射流等离子体清洗机集合了20架大气等离子清洗机，进行多功能控制，解决多台干扰问题，为流水线提供综合性的控制解决方案。
宽幅等离子清洗机 PG-110LN

产品名称：宽幅等离子清洗机 PG-110LN

宽幅等离子清洗机的“宽幅”特性（处理宽度可达1米以上）使其特别适用于大面积材料的均匀处理。
桌面型等离子清洗机 AP-PR/M-3L

产品名称：桌面型等离子清洗机 AP-PR/M-3L
实验型小型真空等离子清洗机是一种小型便携式的等离子清洗设备，主要由金属外壳、真空处理室、真空泵、PLC控制系统等模块组成，主要解决实验室、科研机构的等离子表面处理以及实验的需求。
工业等离子清洗机真空等离子清洗机 PLS-200L

产品名称：工业等离子清洗机真空等离子清洗机 PLS-200L