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等离子清洗机射频水平电极容性耦合放电形式是怎样的

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2020-09-03 09:46【大中小】

文章导读：等离子清洗机根据电源选取的不同，通常主要有中频和射频之分，而射频等离子清洗机因放电形式不同，也有射频容性耦合和感性耦合放电之分，在接下来的内容中，我们先来了解一下射频，以及水平电极的容性耦合放电形式和基础原理。

等离子清洗机根据电源选取的不同，通常主要有中频和射频之分，而射频等离子清洗机因放电形式不同，也有射频容性耦合和感性耦合放电之分，在接下来的内容中，我们先来了解一下射频，以及水平电极的容性耦合放电形式和基础原理。

一、什么是射频

等离子清洗机的射频或者说RF，是指工作频率在MHz量级，射频等离子清洗机的典型波段值为13.56MHz。在材料表面的等离子清洗应用中，电容耦合式的射频等离子清洗机适用范围较为广泛。

二、基本原理

等离子清洗机中低温等离子体的产生机制有多钟，包括但不局限于直流辉光放电、射频感应放电、电容耦合射频放电，其中，电容耦合水平电极板射频放电又以处理面积大，在诸多研究和工业处理中应用广泛。下图为水平电极容性耦合射频等离子清洗机放电。

对于电容耦合高频等离子体源而言，保持在平行平板电极间的等离子体主要是通过高频电场加热。大部分的电容性耦合射频等离子体反应器都是非磁化的，工作频率在1~100MHz之间，要比电子响应电磁场的电子等离子体频率要低，即ω<ωpe。非磁化容性耦合射频放电模型如下图所示，由于使用的容性耦合射频放电能够产生较大面积的稳定等离子体，因而正如上述所说，电容性放电已经成为低气压放电材料处理中应用zui广泛的等离子体源。
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