等离子清洗机的激发频率不同，会有何不同？
文章导读：说到等离子清洗机的激发频率，通常有三种不一样的类型，按激发频率的大小区分分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，也就是我们常说的中频等离子清洗机、射频等离子清洗机和微波等离子清洗机，激发频率不同，主要是由于配置的电源发生频率的差异引起的。那么等离子清洗机的激发频率不同，究竟会有哪些不同呢？
说到等离子清洗机的激发频率，通常有三种不一样的类型，按激发频率的大小区分分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，也就是我们常说的中频等离子清洗机、射频等离子清洗机和微波等离子清洗机，激发频率不同，主要是由于配置的电源发生频率的差异引起的。那么等离子清洗机的激发频率不同，究竟会有哪些不同呢？接下来我们接着来看。
首先谈谈中频等离子清洗机的放电，由于中频电源直接输出到电极板的电压较高，其自偏压较高，产生的负自偏压引起了正离子的功率吸收，这也会直接引起电极板的温度升高；同时由于在这过程中，离子会吸收部分的功率，因此用于电离的电子的功率吸收就与相应的减少了，从而造成等离子体密度的较低和离子的能量较高，工艺处理温度也会稍高。
与中频等离子体清洗机不同的是，射频等离子清洗机在射频容性耦合方式的放电过程中，电极板产生的自偏压受到放电气压的影响，自偏压较小，电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的振荡鞘层相互作用。因此，射频等离子清洗设备的激发频率越高，电子的功率吸收也会相对越高，相应的离子轰击的能量就会降低。
而说到微波等离子清洗机放电，这种清洗没有自偏压，离子浓度高，离子能量低，主要有两种方式，即表面波型和电子回旋共振型，前者一般用于商业清洗，是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿实现放电，其中并没有离子的加速作用，其电子密度较高，但通常要求放电气压高，从而会引起等离子体局域化比较严重的情况，不利于纵深清洗和多层面的大尺度的清洗处理，此外，微波等离子清洗机也不适合对一些精密的电子元器件进行处理。
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