低压真空等离子清洗机的局限性有哪些？

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2021-03-25 09:00【大中小】

文章导读：低压真空等离子清洗机清洗工艺已被广泛应用于晶圆加工、芯片封装、传感器、精密电子和医疗器械等领域，因为清洗彻底、污染小等众多优点，比之于传统的湿式清洗方法，是比较先进的工艺。但，凡事都具有两面性，等离子清洗机清洗工艺也有其局限性，接着昨天的内容，今天就和普乐斯的小伙伴一起来探讨一下等离子清洗机的局限性。

低压真空等离子清洗机清洗工艺已被广泛应用于晶圆加工、芯片封装、传感器、精密电子和医疗器械等领域，因为清洗彻底、污染小等众多优点，比之于传统的湿式清洗方法，是比较先进的工艺。但，凡事都具有两面性，等离子清洗机清洗工艺也有其局限性，接着昨天的内容，今天就和普乐斯的小伙伴一起来探讨一下等离子清洗机的局限性。

低压真空等离子清洗机清洗的处理对象必须是干净和干燥的材料，低压真空等离子清洗机产生的等离子体属于非平衡式的冷等离子体，与材料表面发生反应的厚度一般是几十个纳米，如果被处理的材料表面有比较明显的脏污或者是涂层，等离子清洗的效果会大打折扣。一般在等离子清洗前，需要对材料表面做预处理，例如利用超声波清洗去除肉眼能看到的颗粒物。材料经过超声波清洗过后，必须要烘干，才能对其进入等离子清洗。假如材料表面残留水分，会影响抽真空的时间；水分过多，随着真空度的变化，这会严重影响等离子清洗的效果。

等离子清洗对等离子设备和材料都拥有较高的要求，这是等离子清洗机的局限性之一。
除了以上方面，低压真空等离子清洗机清洗材料的时候，还要注意材料的摆放位置和方向，不能有遮挡；处理导电材料的时候，要防止与电极之间的距离太近，以免拉弧；当然对等离子清洗前后相关工艺的了解，也是有必要的。

普乐斯电子12年专注研制等离子清洗机，等离子体清洗机，等离子清洗设备，常压大气和低压真空型低温等离子表面处理设备，大气低温等离子体表面处理系统，大气常压收放卷等离子表面设备处理，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗、活化、刻蚀、涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯随时恭候您的来电！

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