大气常压等离子清洗机放电类型有几种?什么是RF放电?
文章导读:大气常压等离子清洗机的气体放电类型有哪些呢?我们通常所说的射频RF放电有哪些特点呢?普乐斯为你简单介绍一下大气常压等离子清洗设备的相关内容:
大气常压等离子清洗机运行时的气体放电类型可分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等。不同的大气常压等离子处理机运行时气体放电原理具有不同的的作用及应用领域场所。大气常压等离子清洗机的工作原理一般可以解释为通过在大气环境下,将电极两端通电形成电场,通入气体在电场作用下被击穿电离,形成等离子体,对材料表面进行改性处理,这种气体电离形成等离子体的现象又称为气体放电。这类的电离气体叫做气体放电等离子体。
大气常压等离子清洗机按其所加电场的频率不同的,其气体放电类型又可以分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电。在普乐斯之前有介绍过关于大气等离子清洗机工作频率的内容,可点击进行回顾:等离子清洗机的发生器频率有几种?有哪些差别?
此外,仍需补充的是:在实验装置和工艺设备中用得较为普遍的大气常压等离子清洗机,其工作频率较高,范围大致为10~100MHz,这种频率下的放电方式又称为射频放电(Radio frequencydischarge),也是我们俗称的RF放电,常见的频率为13.56MHz,RF放电形成的等离子体能量较低,密度较高,处理效果更为均匀,因而在大气常压等离子设备上运用较多。
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此外,仍需补充的是:在实验装置和工艺设备中用得较为普遍的大气常压等离子清洗机,其工作频率较高,范围大致为10~100MHz,这种频率下的放电方式又称为射频放电(Radio frequencydischarge),也是我们俗称的RF放电,常见的频率为13.56MHz,RF放电形成的等离子体能量较低,密度较高,处理效果更为均匀,因而在大气常压等离子设备上运用较多。