等离子清洗机的哪些参数会影响等离子去胶的效果？

来源：普乐斯浏览：次发布日期：2022-10-14 13:05【大中小】

文章导读：在半导体行业中，各项制程都能用到等离子清洗机，比如等离子去胶工艺，这个工艺会影响产品的处理效果，对产品的成品率有重要的影响，那么普乐斯给大家介绍下影响工艺效果的几个因素。

在半导体行业中，各项制程都能用到等离子清洗机，比如等离子去胶工艺，这个工艺会影响产品的处理效果，对产品的成品率有重要的影响，那么普乐斯给大家介绍下影响工艺效果的几个因素。

1、射频功率：功率决定了等离子体的能量，处理表面光刻胶时，功率越大，越能形成大量的等离子体，效率也就越高，但这是有上限的，因为能量越大，腔体内温度就会越高，过高就会损坏材料，我们要选择合适的功率。

2、气体因素：气体的流向、流量都会影响到产品处理的效果，在等离子去胶工艺中一般采用石英材质的腔体，其它垂直留下，让气体更多的覆盖材料的表面，这时候就需要考虑气体流量，过大过小都会影响处理的效果，可以多次测试，找到合适数值，这样就能均匀的处理，获得好的效果。
3、清洗时间：在参数不变的状况下，处理时间越长，去除的残胶越多，但随着长时间的反应，腔体内的温度也会不断的升高，这时候我们需要注意那些易损件，防止高温损坏，所以清洗的时间一般控制在30秒到180秒之间。
4、腔体大小：腔体的大小决定了处理数量，装载过多的产品在里面，就会让光刻胶在等离子体中的接触面积过低，影响处理的效果，所以腔体的设计非常重要。

这些就是常见的影响因素，我们在产品设计以及生产的过程中都需要考虑这些问题，但是设备制造完成，我们需要对样品进行试样，找到合适的参数，稳定处理的效果，让客户满意。
昆山普乐斯电子13年专注研制等离子清洗机，等真空离子清洗机，等离子表面处理设备，常压大气和低压真空型低温等离子表面处理设备，大气低温等离子表面处理系统，大气常压收放卷等离子表面设备处理的国家高新技术企业，普乐斯严格执行ISO9001质量体系管理，生产的等离子清洗机通过欧盟CE认证，为电子、半导体封装、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗、活化、刻蚀、涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解关于产品的详细内容或在设备使用中存在疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯随时恭候您的来电！

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