江苏捷捷微电子股份有限公司
文章导读:控硅(Silicon Controlled Rectifier) 简称SCR,是一种大功率电器元件,也称晶闸管。它具有体积小、效率高、寿命长等优点,分为单向可控硅和双向可控硅两种。等离子清洗设备工艺可用于提高可靠性和良率。
江苏捷捷微电子股份有限公司创建于1995年,是一家专业从事半导体分立器件、电力电子元器件研发、制造和销售的江苏省高新技术企业、江苏省创新型企业、中国半导体协会会员单位、中国电器工业协会电力电子分会先进会员单位,同时也是国内生产“方片式”单、双向可控硅最早及品种最齐全的厂家之一。公司建有“江苏省企业技术中心”、“江苏省工程技术研究中心”,公司具备一流的技术创新能力、良好的市场信誉和业务网络,是国内电力半导体器件领域中,晶闸管器件芯片方片化这个细分行业的龙头企业。
购买等离子清洗设备的目的:D/B和W/B前清洗,增加结合力;晶圆表面光刻胶残膜的去除。
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