等离子清洗机中通入的普通工艺气体要想转化为等离子体，每个粒子大约需要1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，其中的粒子具有较高的活性和能量密度。
但要注意的是，电离的气体不一定是就是等离子体，虽然等离子体和普通气体存在一些共同特点，如它们均满足气体状态方程，但它们却有截然不同的性质，主要的3个方面的区别，现对比如下：
普通气体和等离子体之间的区别
真空（低压）等离子清洗机中的四氟化碳等离子体图片
真空（低压）等离子清洗机中的氧等离子体图片
氧等离子体（O2）
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